集成電路關鍵材料國家工程研究中心(原半導體材料國家工程研究中心,簡稱:半導體工程中心)主要開發從事集成電路、分立器件、傳感器、太陽能、微電子機械系統、半導體設備部件、光學部件等重要領域用半導體硅材料的研發及產業化,積累了近60年材料研發經驗,是我國最早從事半導體硅材料研究的單位,1991年11月由前國家計委批準成立。
半導體工程中心是國家級企業技術中心,首批獲得了國家技術創新示范企業的研究中心,擁有國際先進的硅材料研發實力和儀器設備及現代化生產基地。承擔了國家908、909重大工程和863重大專項、國家科技重大專項等國家重大科研任務。擁有國內多項第一科研成果和產業化成果,解決了多項國家“卡脖子“難題,為我國半導體產業的發展做出了突出貢獻。
一、研究工作與成果
半導體工程中心前身為有研總院401室,上世紀50年代開始從事硅材料研究。1999年轉制以來,承擔“十五”到“十三五”期間的多項國家重大攻關任務,是國內最早開發出8英寸和12英寸硅片的研究中心,積累了豐富的硅材料研發及生產經驗,形成了具有自主知識產權的技術體系和產品品牌,獲得國家及省部級獎勵30余項。
● 2002年,研制成功中國第一根直徑18英寸直拉硅單晶;
● 2005年,啟動半導體設備用12英寸、18英寸大直徑硅單晶產品的產業化研究;
● 2006年,建立國內第一條年產12萬片的0.13-0.10微米線寬集成電路用12英寸硅單晶拋光片試驗生產線,擁有國內唯一12英寸硅片制備技術,可達到55nm水平,直徑12英寸硅單晶拋光片產品被評為中國半導體創新產品;
● 2007年,直徑6英寸重摻砷硅單晶及拋光片產品被評為中國半導體創新產品;
● 2008年,承擔國家重大專項“90nm/300mm硅片產品競爭力提升與產業化”,啟動12英寸產業化研究;
● 2010年,承擔國家科技重大專項“200mm硅片產品技術開發和產業化能力提升”,啟動8英寸產業化研究,在國內首家實現8英寸硅片產出;
● 2014年,國內首家實現12英寸硅片小批量產出,并開展硅部件實驗室研究,建立中試線,實現硅部件小批量生產;8英寸硅片獲得年度國家重點新產品、8英寸重摻硅片被列為國家自主創新產品;
● 2016年,“200mm(8英寸)硅拋光片產品技術開發和產業化能力提升”項目成果獲得中國有色金屬工業科學技術獎一等獎;
● 2017年,國家國家科技重大專項順利驗收,成功地將硅片實驗室研究技術產業化,實現了對半導體制造設備及8英寸、12英寸硅片產業化技術的日益提升;8英寸輕摻拋光片被列為年度中國半導體創新產品和技術。
● 2018年,啟動“集成電路用大尺寸硅材料規?;a項目”;
● 2019年,“大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備”項目獲國家技術發明二等獎。“300mm硅環”產品獲評北京市新技術新產品;獲“中央企業先進集體”榮譽稱號。
● 2020年,“集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目”通線量產,啟動“12英寸集成電路用大硅片產業化項目”。
二、師資力量與隊伍
半導體工程中心自成立以來,培養和造就了一批高素質的人才。擁有專業技術人員174人,其中,中國工程院院士1人,教授級高工14人,高級工程師29人,享受政府特殊津貼專家4人,并引進具有國際背景的日本專家團隊,師資力量雄厚,教育資源豐富。
在研究生培養方面,貫徹“嚴格招、盡心育、用之長、盡情留”的思路,以國家和市場需求為牽引,緊密對接產業需求,從培養創造性思維、提高專業理論水平、增強動手能力等方面加大培養力度,量身制定培養規劃。自主培養的碩士、博士研究生已成為半導體工程中心的中堅力量。
三、研究生待遇
★ 參與承擔高規格、高水平科研項目的機會,以及參加半導體硅材料專業技術培訓和高水平學術會議的機會;
★ 嚴謹的學風和濃厚的科研氛圍;
★ 畢業后留在本團隊或集團其他部門工作的機會;
★ 學費、住宿費、實驗基地餐費全免;
★ 享受國家規定的基本獎學金和補助費;
★ 固定的助研津貼;
★ 多種專項獎學金:院長獎學金、希望獎學金、論文獎學金、科研創新獎學金、優秀生源獎學金、有研“未來之星”獎學金等;
★ 餐補、勞保、節日補貼、夏季高溫津貼等其他福利。