2024年是新中國成立75周年，是實現“十四五”規劃目標任務的關鍵一年。為全面貫徹落實黨的二十大精神和習近平文化思想，中國有研舉辦了“思想領航 賦能向新”優秀故事征集活動。參賽作品充分展現集團上下深入貫徹落實“1+360+N”有研特色黨建工作體系，圍繞中國有研作為中央企業行業院所“托底、引領和賦能”三大核心功能，在服務國家重大戰略、強化創新引領、履行社會責任、弘揚時代新風等方面作出的新貢獻、新成就，生動講述了有研人在平凡崗位上創造非凡業績的奮斗故事。

本期推出“思想領航 賦能向新”有研故事系列展播（十一）——

吸氣研究再突破，“泵”發有研新活力！

作者：有研工研院

暖水瓶如何能實現長期保溫？人造衛星又何以按照既定路線暢游太空？同步輻射光源又是怎樣實現超高亮度？這些問題的背后，都離不開一種叫做吸氣劑的關鍵材料。

吸氣劑通過物理或化學的方式吸附真空中的H2、CO、N2等氣體，從而維持或提高真空度，對慣性傳感器、紅外探測器、空間行波管等真空器件的精度和壽命有著重要影響。

早在1972年，中國有研就啟動了針對吸氣材料的專項攻關，經過幾代科研人員薪火相傳，現已成長為國內最具技術實力的高端吸氣材料產品研制和生產單位。如今吸氣團隊賡續有研精神血脈，扛起使命擔當，不斷為國家重大需求提供更加堅強的材料保障。

用戶有困難，我們來解決

2022年春，有研工研院電子事業部在走訪用戶時了解到，他們在調研采購一款應用于半導體設備上的大尺寸異型結構吸氣劑泵，市場上該特定規格產品尚屬空白，有些供應商在了解到技術需求后表示可以定做，但周期會比較長，他們等不了。隨行的技術人員一聽，立即回應：“我們有相關產品研制經驗，方便了解一下您這邊的具體需求嗎？或許我們能幫著解決。”

經過詳細的溝通了解后，技術人員整理帶回了客戶的需求信息，事業部領導迅速組織了專題研討，大家紛紛表示，“吸氣材料是我們的傳統優勢領域，常規的吸氣劑泵我們也有成熟產品，這個產品我們能做。”

“但用戶只答應給我們三個月的時間，三個月后必須拿出可以穩定供貨的產品，時間很短，我們沒有失敗的機會。”事業部領導強調。

大家一聽又面面相覷，“時間確實緊張，但在吸氣領域我們絕不能放掉任何一個潛在客戶。”事業部領導給大家鼓氣，“我們的前輩打下了那么好的基礎，今天我們是站在巨人的肩膀上，為什么不能再突破一下？”

“這個任務我們接了！”公司技術總監劉曉鵬一錘定音，“我來帶領大家梳理這個產品的技術難點，一起攻克！”不到兩天的時間，大家從材料、結構、集成組裝方式、測試手段4個方面細致梳理出了該產品的技術難點，并制定了初步方案，有針對性地開展研究，逐一解決。

研究有成效，我們再突破

用戶對產品抽速要求高，現有材料無法滿足，研究人員就查閱大量文獻，結合相圖和熱動力學數據庫，在現有的材料體系基礎上進行優化驗證。同時對單個吸氣元件的制備工藝進行多輪次改進，采用造孔的方式增大了吸氣元件的孔隙率，提升了元件性能；采用一體成型的工藝，大幅度提升了吸氣元件的制備效率。

這種特定規格的吸氣劑泵沒有可借鑒的先例，結構怎么設計？怎么裝配才能避免使用過程中大量散熱對設備造成的損害？這是個棘手的問題，時間有限，必須減少試錯。“我們有擅長數值模擬的同事呀，針對結構設計的設想先用熱場模擬驗證一下，你們成立一個柔性團隊，大家一起解決問題。”時任事業部副總楊劍說道。

“這個片徑減小一點，片距也得調整，現在熱場模擬還是不符合要求。”“好的，我再調整一下給你最新的結構設計圖紙。”“這里裝配設計絕緣做得不理想。”“我再加個瓷件吧。”…辦公室和實驗室經常能聽到柔性團隊成員在討論問題和商量解決方案。團隊骨干成員扎根實驗室，與設備為伴，采用兩班倒的模式，幾乎每天都工作至深夜，一干就是兩個多月。

經過反復迭代，第一臺泵裝配好了，但這種異型結構無法裝配到現有的測試設備上直接測試，搭建專門的測試系統時間又很緊。有人提出：“我們可以設計轉換成常用規格同質量產品進行測試。”“必須讓用戶認可這個測試方案才行。”楊劍說道。

測試方案經用戶認可后，項目組第一時間安排了測試，結果顯示吸氣速率達到了每克6.5L/s，同等條件下高出國外頂尖產品10%以上，這一結果遠超預期。用戶看到結果后對我們的研究成果給予了極大的贊譽，當即表示后續會有批量的訂單需求。

“我們做到了！”

產品有訂單，我們保質量

產品通過用戶考核后，吸氣團隊立即組織成立產品質量專項小組，以公司質量手冊為抓手，全面梳理設計工藝文件、建立該產品的工藝制度，落實生產過程中全方位質量控制，確保產品質量符合公司和用戶的要求。兩年來大尺寸異型結構吸氣劑泵產品持續穩定供貨，已經成為吸氣領域的重要經濟增長點。

如今團隊研制的第一臺大尺寸異型結構吸氣劑泵已經在半導體設備中持續運行兩年時間，對極高真空的長效維持發揮著不可替代的作用，保障了半導體設備的長期穩定運行。這一新產品的成功開發標志著我司在真空技術領域又邁出了堅實的一步。

多年來電子事業部聚焦提升核心競爭力和創新力，面向國家重大戰略需求，面向行業急需，以高度市場化思維組織籌劃新產品開發。吸氣團隊繼往開來，積極推動“第二場景”應用，以科技創新的成果引領產業創新升級，為中國有研發揮好“托底、引領和賦能”三大核心功能貢獻綿薄之力。