近日,《北京市人民政府關(guān)于2022年度北京市科學(xué)技術(shù)獎勵的決定》正式公布,經(jīng)市科學(xué)技術(shù)獎勵評審委員會評審、審定,市政府批準(zhǔn)授予有研億金“先進(jìn)集成電路制造用超高純銅及銅合金靶材關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。
北京市科學(xué)技術(shù)獎是由北京市人民政府設(shè)立的獎項(xiàng),重點(diǎn)獎勵為建設(shè)國際科技創(chuàng)新中心作出貢獻(xiàn)的科技工作者和科技成果,旨在深入落實(shí)創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略,推動北京市加快打造世界主要科學(xué)中心和創(chuàng)新高地。其中,科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎是在聚焦關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用以及支撐北京市重點(diǎn)領(lǐng)域發(fā)展成果而設(shè)立的。
超高純銅及銅合金靶材是先進(jìn)集成電路晶圓制造和先進(jìn)封裝用關(guān)鍵互連材料,大量應(yīng)用于90-7nm先進(jìn)制程、先進(jìn)封裝與三維集成技術(shù)。有研億金通過自主研發(fā)突破超高純銅及其合金靶材全流程關(guān)鍵技術(shù),為極大規(guī)模集成電路技術(shù)發(fā)展提供關(guān)鍵支撐,有力地保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈安全,實(shí)現(xiàn)了高端靶材的國產(chǎn)化替代和自主可控。
有研億金聚焦國家重大戰(zhàn)略需求,將繼續(xù)砥礪深耕,不斷搶占戰(zhàn)略技術(shù)制高點(diǎn),實(shí)現(xiàn)在集成電路核心材料領(lǐng)域的領(lǐng)跑,爭當(dāng)科技創(chuàng)新主力軍,以實(shí)際行動繪就“科技強(qiáng)國”宏偉藍(lán)圖,為把我國建設(shè)成為世界科技強(qiáng)國作出新的更大貢獻(xiàn)。