10月16日,山東有研半導體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目通線量產儀式。中國工程院院士屠海令在儀式上宣布項目正式通線量產。有研集團黨委書記、董事長趙曉晨,德州市委書記李猛出席儀式并致辭。德州市委副書記、市長楊洪濤主持儀式。有研集團和德州市有關領導、相關企業和科研機構負責同志參加活動。
▲屠海令院士宣布山東有研半導體材料有限公司正式通線量產
趙曉晨表示,有研集團作為我國具有國際先進水平的硅材料工程化技術和產業技術創新基地,與德州市政府共同建設集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目,是有研集團緊跟時代科技發展前沿的使命所在,是適應山東發展規劃和國家戰略需求的必然選擇。項目的通線量產,將為解決我國集成電路用關鍵材料的“卡脖子問題”貢獻新的力量。
▲有研集團黨委書記、董事長趙曉晨致辭
李猛表示,山東有研項目順利投產,是德州市統籌推進疫情防控和經濟社會發展、加快推動高質量發展的重大成果,填補了電子信息產業鏈條上“關鍵一環”,將帶動一批上下游配套企業落戶,極大提升全市電子信息產業核心競爭力和整體發展水平,有力推動創新型城市建設步伐。
▲德州市委書記李猛致辭
▲德州市委副書記、市長楊洪濤主持儀式
▲山東有研半導體材料有限公司總經理張果虎介紹項目情況
山東有研半導體材料有限公司《集成電路用大尺寸硅材料規模化生產基地項目》2018年6月在“央企助力山東新舊動能轉換座談會上”簽訂戰略合作協議落戶德州,項目總占地面積650畝,項目總投資80億元,在2019年山東省重點項目名單中位列第一。
2019年3月開工建設,面對非常緊的工期要求以及突如其來的新冠疫情、多雨的不利氣候條件,有研團隊攻堅克難,科學做好疫情防控,積極優化施工工序,扎根現場做好協調,歷時近18個月,完成了近10萬平方米廠房的建設、1.5萬平米潔凈廠房的安裝,以及新購工藝設備的安裝、北京生產線的搬遷及工藝調試,充分體現專業性和高效率。
項目的落成和通線投產標志著有研半導體向建設我國北方地區最大的集成電路用大硅片生產基地邁出了堅實的一步,實現了年產6、8英寸硅片456萬片和12-18英寸硅單晶300噸能力,極大地提升了公司的競爭力和持續發展能力,并為后續12英寸硅片的實施奠定了良好基礎。