12月17日,專家組對(duì)由有研半導(dǎo)體材料股份有限公司等單位承擔(dān)的02重大專項(xiàng)“90nm/300mm硅片產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力提升與產(chǎn)業(yè)化”和“200mm硅片產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化能力提升”進(jìn)行了中期評(píng)估。專家組組長(zhǎng)由中科院半導(dǎo)體研究所陳良惠院士擔(dān)任,中科院上海技術(shù)物理研究所方家熊院士、北京有色金屬研究總院名譽(yù)院長(zhǎng)屠海令院士、原信息產(chǎn)業(yè)部巡視員鄭敏政、清華大學(xué)微電子所錢佩信教授、北京大學(xué)信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院康晉鋒教授、國(guó)家自然科學(xué)基金委財(cái)務(wù)局局長(zhǎng)鄭仲文等十七名專家和02專項(xiàng)辦的同志一起參加調(diào)研,項(xiàng)目合作單位中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司博士蔣慶紅也受邀參加了此次評(píng)估。北京有色金屬研究總院院長(zhǎng)張少明,副院長(zhǎng)、有研半導(dǎo)體材料股份有限公司董事長(zhǎng)周旗鋼,總經(jīng)理張果虎陪同調(diào)研。
專家組按照生產(chǎn)加工流程對(duì)12英寸硅片生產(chǎn)線——磨削車間、拋光車間、清洗車間、外延車間、檢測(cè)車間進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)考察,詳細(xì)了解了12英寸硅片的生產(chǎn)現(xiàn)狀和生產(chǎn)過(guò)程中遇到的問題。考察結(jié)束后,專家組聽取公司董事長(zhǎng)周旗鋼做的“02重大專項(xiàng)項(xiàng)目中期評(píng)估匯報(bào)”,詳細(xì)的介紹了項(xiàng)目的進(jìn)展情況。專家組認(rèn)真聽取了匯報(bào),進(jìn)行了深入的交流。專家組組長(zhǎng)陳良惠院士希望有研硅股要多總結(jié)課題實(shí)施經(jīng)驗(yàn),在研發(fā)實(shí)踐中努力協(xié)調(diào)好促進(jìn)企業(yè)發(fā)展與承擔(dān)國(guó)家戰(zhàn)略任務(wù)的關(guān)系;錢佩信教授希望公司能夠抓住發(fā)展機(jī)遇,抓緊時(shí)間成長(zhǎng)為大型半導(dǎo)體企業(yè),并提醒公司要全方位考慮問題,不能僅僅依靠國(guó)外團(tuán)隊(duì);鄭敏政巡視員指出,公司要注重提升管理水平,提高產(chǎn)品技術(shù)含量,利用多種方式融資;屠海令院士指出半導(dǎo)體行業(yè)最重要的是“快”,抓住機(jī)遇,迎難而上,推進(jìn)各項(xiàng)工作;蔣慶紅博士表示有研硅股在開發(fā)12英寸硅片方面做了大量工作,如能順利通過(guò)第三方客戶可靠性驗(yàn)證,將會(huì)成為中芯國(guó)際的合作供應(yīng)商。
張少明院長(zhǎng)做重要講話。他說(shuō),有研總院用了一年多的時(shí)間,專門開展戰(zhàn)略規(guī)劃制定和研判工作,理順了全院主要業(yè)務(wù)領(lǐng)域,明確了需要整合的資源,為今后的快速發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。硅材料是有研總院的核心發(fā)展方向,要堅(jiān)定不移的做下去,做好做優(yōu),總院會(huì)給予大力的支持。
最后,周旗鋼董事長(zhǎng)感謝各位專家能在百忙之中蒞臨公司,悉心指導(dǎo)。他表示將會(huì)進(jìn)一步解放思想,大力推動(dòng)項(xiàng)目進(jìn)展,早日實(shí)現(xiàn)公司的跨越式發(fā)展。