導(dǎo)師姓名

張果虎

性別

男

出生年月

1967年12月

所在室所

集成電路關(guān)鍵材料國(guó)家工程研究中心

技術(shù)職稱

教授級(jí)高級(jí)工程師

招生專業(yè)

材料科學(xué)與工程

聯(lián)系電話

010-82087080

E-mail

zhangguohu@gritek.com

研究方向

1.大直徑硅單晶制備技術(shù)研究

2.大尺寸硅片加工技術(shù)研究

個(gè)人簡(jiǎn)況

1990年畢業(yè)于中南工業(yè)大學(xué)應(yīng)用物理專業(yè)，獲學(xué)士學(xué)位。2004年畢業(yè)于中國(guó)人民大學(xué)獲工商管理碩士學(xué)位，正高級(jí)工程師，國(guó)務(wù)院特殊津貼專家。研究課題主要圍繞：1）大直徑單晶性能研究、工藝研究、熱場(chǎng)設(shè)計(jì)、缺陷控制；2）大尺寸硅片的損傷控制、精密加工、潔凈技術(shù)技術(shù)研究。

長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體硅材料及工程化技術(shù)研究。先后參與和承擔(dān)了國(guó)家“八五”、“九五”、“十五”、“908”、“909”和“國(guó)家示范工程”等國(guó)家重大攻關(guān)課題，研制成功了國(guó)內(nèi)第一根直徑6英寸、8英寸、12英寸和16英寸硅單晶。參與成功建設(shè)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)內(nèi)第一條6、8英寸硅單晶拋光片生產(chǎn)線。

建立了我國(guó)第一條300mm硅材料生產(chǎn)線，開發(fā)出全球領(lǐng)先的450mm硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)。主持國(guó)家科技重大專項(xiàng)“200mm硅片產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化能力提升”項(xiàng)目，率先實(shí)現(xiàn)200mm硅片在國(guó)內(nèi)的產(chǎn)業(yè)化。建立我國(guó)首個(gè)300mm硅材料設(shè)備研制平臺(tái)，推進(jìn)了半導(dǎo)體硅材料用裝備（300mm單晶爐等）和原輔材料（石英坩堝、化學(xué)試劑等）的國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用。

榮獲十余項(xiàng)國(guó)家及部級(jí)科研成果獎(jiǎng)勵(lì)。授權(quán)專利30余項(xiàng)，其中參與發(fā)明創(chuàng)造的“一種用于直拉硅單晶制備中的摻雜方法及其裝置”獲2008年第十屆中國(guó)專利金獎(jiǎng)。發(fā)表論文30余篇。2009年評(píng)選為有色金屬行業(yè)勞動(dòng)模范。

Update 2020.02