導師姓名

肖清華

性別

男

出生年月

1972年9月

所在室所

集成電路關鍵材料國家工程研究中心

技術職稱

教授級高級工程師

招生專業

材料科學與工程

聯系電話

010-82087080

E-mail

Xiaoqinghua@gritek.com

研究方向

1.硅及硅基材料

個人簡況

西安地質學院地質礦床勘查專業工學學士（1993年），中國地質大學礦物學巖石學礦床學理學碩士學位（2000年），北京有色金屬研究總院材料學工學博士（2005年）。2005年到北京有色金屬研究總院工作后歷任工程師（2005年4月~2006年11月）、高級工程師（2006年11月~2011年12月），教授級高級工程師（2011年12月~）。

多年從事半導體硅材料及硅基材料的制備技術和半導體雜質與缺陷行為研究，研究課題主要有大尺寸硅單晶生長數值模擬、大尺寸硅片的精密加工、半導體材料中的雜質和缺陷及其熱演化特性、鍺硅材料的制備、半導體材料的檢測技術，先后承擔和參與完成了國家863重大專項、國家科技重大專項、國際科技合作研究計劃、國家自然科學基金及省部級科研課題10余項，取得了重要研究成果。曾獲省部級科學技術獎2項，在Appl Phys Lett等國內外期刊上發表論文40余篇。

Update 2020.02